CAS 27804-64-4 bis (dietilamino) silano (BDEAS)

Atualmente, como o método de fabricação de dialquil amino-silano, no método de síntese a partir da reação de clorossilano e dialquil amina, além do dialquil amino-silano-alvo, também há um grande número de subprodutos de clorocloretos de amina dialquil, assim, ele é necessário para impedir a redução da eficiência do volume causada por um grande número de solventes, de modo a produzir grandes quantidades de barato.

Pode ser usado como material precursor da membrana ALD.