CAS 15112-89-7 Tris (dimetilamino) Silano (3dmas)

Estudos relacionados mostram que o Tri (dimetilamina) silano, como fonte de precursor, não apenas tem boa estabilidade, alta pressão de vapor, mas também mostra reatividade bastante alta, portanto essa fonte de organossilício se tornou o foco da pesquisa na deposição de SiO2 pelo método ALD.

Utilizado para aula de fundo de amina, reagente de silano, organossilício, produtos químicos eletrônicos, matérias -primas químicas.